EDK 7100在線式臭氧氣體分析儀基于紫外光源的朗伯比爾 Beer-Lambert定律，當254nm紫外光通過臭氧氣體樣品腔室時被臭氧吸收，吸收值與臭氧濃度遵循朗伯比爾定律，通過測量吸收前和吸收后的紫外光信號的變化值，與參考光源進行比對計算，并分析出被測臭氧的濃度值。

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